判斷題CVD系統(tǒng)包括熱壁式CVD系統(tǒng)和冷壁式CVD系統(tǒng)，在冷壁式CVD系統(tǒng)中側(cè)壁溫度與沉底溫度相等。
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BiCMOS技術(shù)就是將（）和（）的優(yōu)良性能集中在同一塊集成電路器件中。BiCMOS綜告了CMOS結(jié)構(gòu)的低功耗、高集成度和TTL或ECL器件結(jié)構(gòu)的高電流驅(qū)動能力。
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半導(dǎo)體工藝技術(shù)中，器件互連材料通常包括（）等。
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在晶體材料中，對于長程有序的原子模式最基本的實體就是（）。
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目前集成電路版圖設(shè)計的主流工具有哪些？
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晶體管的名字取自于（）和（）兩詞。
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材料根據(jù)流經(jīng)材電流的不同可分為三類（）。
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編寫DRC版圖驗證文件的主要依據(jù)是什么？
題型：問答題
20世紀(jì)上半葉對半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)量展做出貢獻的4種不同產(chǎn)業(yè)主要是（）。
題型：多項選擇題