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【簡答題】說明水汽氧化的化學(xué)反應(yīng),水汽氧化與干氧氧化相比速度是快還是慢?為什么?
答案:
化學(xué)反應(yīng):Si+2H
2
O->SiO
2
+2H
2
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【簡答題】二氧化硅薄膜在集成電路中具有怎樣的應(yīng)用?
答案:
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2
致密;
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【簡答題】STI隔離技術(shù)中,為什么采用干法離子刻蝕形成槽?
答案:
采用干法刻蝕,是為了保證深寬比。
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