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氧化物有兩個(gè)生長(zhǎng)階段來(lái)描述,分別是線性階段和拋物線階段。
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雖然直至今日我們?nèi)云毡椴捎脭U(kuò)散區(qū)一詞,但是硅片制造中已不再用雜質(zhì)擴(kuò)散來(lái)制作pn結(jié),取而代之的是離子注入。
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柵氧一般通過(guò)熱生長(zhǎng)獲得。
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