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判斷題

有光刻膠覆蓋硅片的三個(gè)生產(chǎn)區(qū)域分別為光刻區(qū)、刻蝕區(qū)和擴(kuò)散區(qū)。

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芯片上的物理尺寸特征被稱為關(guān)鍵尺寸,即CD。

答案: 正確
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