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問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】如何解決MOS器件的場(chǎng)區(qū)寄生MOSFET效應(yīng)?

答案: 在第二次光刻生成有源區(qū)時(shí),進(jìn)行場(chǎng)氧生長(zhǎng)前進(jìn)行場(chǎng)區(qū)離子注入,提高寄生MOSFET的閾值電壓,使其不易開(kāi)啟;增加場(chǎng)氧生長(zhǎng)厚度...
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問(wèn)答題

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答案: MOS晶體管的有源寄生效應(yīng)是指MOS集成電路中存在的一些不希望的寄生雙極晶體管、場(chǎng)區(qū)寄生MOS管和寄生PNPN(閂鎖效應(yīng)...
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