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級聯(lián)碰撞
答案：
位移原子稱為反沖原子。與入射離子碰撞而發(fā)生位移的原子，稱為第一級反沖原子，與第一級反沖原子碰撞而位移的原子，稱為第二級反...
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光刻膠
答案：
又稱光致抗蝕劑，由感光樹脂、增感劑和溶劑三種主要成分組成的對光敏感的混合液體。
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駐波效應
答案：
光線照射到光刻膠與晶圓的界面上會產(chǎn)生部分反射。反射光與入射光會疊加形成駐波，形成駐波效應。駐波效應影響光刻分辨率。后烘烤...
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