名詞解釋

答案：如果將注有離子的硅片在一定溫度下，經(jīng)過適當(dāng)時(shí)間的熱處理，則硅片中的損傷就會(huì)得到大部分消除，少數(shù)載流子的壽命以及遷移率也會(huì)...

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答案：

離子沿溝道前進(jìn)，核阻擋作用小，因而射程比非晶靶遠(yuǎn)得多，這種現(xiàn)象叫溝道效應(yīng)。

答案：

注入離子與靶內(nèi)的自由電子和束縛電子碰撞，產(chǎn)生電子空穴對(duì)。注入離子方向基本不變。

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