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名詞解釋

PECVD（等離子增強CVD）

答案：

RF激活氣體分子（等離子體），使其在低溫（室溫）下發(fā)生化學反應(yīng)，淀積成膜。
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LPCVD（低壓CVD）
答案：

在27-270Pa壓力下進行化學氣相淀積。
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APCVD（常壓CVD）
答案：

氣相淀積在1個大氣壓下進行。
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