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問答題
【簡答題】集成電路制造工藝中,主要有哪兩種隔離工藝?目前的主流深亞微米隔離工藝是哪種器件隔離工藝,為什么?
答案:
集成電路制造工藝中,主要有局部氧化工藝-LOCOS;淺槽隔離技術-STI兩種隔離工藝。主流深亞微米隔離工藝是:STI。S...
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【簡答題】現(xiàn)在國際上批量生產(chǎn)IC所用的最小線寬大致是多少,是何家企業(yè)生產(chǎn)?請舉出三個以上在這種工藝中所采用的新技術(與亞微米工藝相比)?
答案:
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名詞解釋
STI
答案:
淺槽隔離工藝。
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