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填空題
雜質(zhì)在硅晶體中的擴(kuò)散機(jī)制主要有兩種，分別是（）擴(kuò)散和（）擴(kuò)散。雜質(zhì)只有在成為硅晶格結(jié)構(gòu)的一部分，即（），才有助于形成半導(dǎo)體硅。
答案：
間隙式擴(kuò)散機(jī)制；替代式擴(kuò)散機(jī)制；激活雜質(zhì)后
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