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名詞解釋
物理氣相淀積（pvd）
答案：
利用某種物理過程，例如蒸發(fā)或者濺射現(xiàn)象實(shí)現(xiàn)物質(zhì)的轉(zhuǎn)移，即原子或分子由源轉(zhuǎn)移到襯底表面上，并淀積成薄膜。
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退火
答案：
如果將注有離子的硅片在一定溫度下，經(jīng)過適當(dāng)時(shí)間的熱處理，則硅片中的損傷就會(huì)得到大部分消除，少數(shù)載流子的壽命以及遷移率也會(huì)...
